半導体部品を製造しているお客様にて、長寿命、高引火点タイプの真空ポンプオイル：シェルバキュームポンプオイルS4RXをご使用いただき、真空度が安定したことで、オイル交換頻度を3倍に延長できた事例をご紹介いたします。
※お客様に実際に測定あるいは検証いただいた結果ですので、全ての機械・条件で同じ効果が出るとは限りません。
1. お客様のお困りこと・改善したかったこと
以前から期待する真空度に到達しないトラブルが発生しており、1週間に一度のオイル交換が必要でした。40台のオイル交換を実施する手間とコストがかさんでおり、少しでも交換頻度を下げられないかと頭を悩ませていました。そこで、オイルを変更することで、真空度の安定、オイル交換期間の延長が実現できる可能性を提案し、実際に試していただくことになりました。
2. ご提案内容
高引火点潤滑油であるシェルバキュームポンプオイルS4RXのご提案
• スラッジ発生が少ないためケースとベーン間の密閉性の低下を防ぐ
• 蒸発量が少ないためオイル自身の蒸発による真空度の低下を防ぐ
• 水分離性に優れるため、水分がケース内に残ることによる真空度の低下を防ぐ
3. ご使用後の効果
従来は1週間使用すると必要な真空度に到達しないという現象が頻発していましたが、オイルを変えてからは3週間経過しても、真空度が安定するようになりました。交換頻度を3週間に1度にすることで、オイル交換の回数を減らすことができ、その結果オイルの月間購入費を10万円以上減らすことができ、メンテナンス会社に支払っている月間作業費用も約3万円減らすことができました。
トータルで年間140万円以上のコスト削減ができ、真空度の安定による稼働率の向上にも繋がっています。前後の写真を比較すると、明らかに劣化していないことが色相からも分かり、スラッジ発生が少ないことで真空度の低下を抑制できていることが確認できました。
真空ポンプの真空度を安定させる技術については「真空ポンプの真空度が上がらない？それってオイルで解決できるかも！ー 不具合の理由と解決の原理とは」をご参照ください。
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