真空ポンプ

半導体部品を製造しているお客様にて、長寿命、高引火点タイプの真空ポンプオイル：シェルバキュームポンプオイルS4RXをご使用いただき、真空度が安定したことで、オイル交換頻度を3倍に延長できた事例をご紹介いたします。